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少子壽命：≥100us
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電阻率：0.4-1.1Ω.cm
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碳含量：≤0.5×1017atoms/cm3
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氧含量：≤7.5×1017atoms/cm3
材料特性
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 | 檢測(cè)方法 |
|---|---|---|
| 生長(zhǎng)方式 | CZ | / |
| 晶體晶向 | ＜100＞±3° | X射線衍射定向法 |
| 導(dǎo)電類型 | P型 | P/N型測(cè)試儀 |
| 位錯(cuò)密度/cm2 | ≤500 | X射線衍射儀（ASTM F26-1987） |
| 項(xiàng)目 | 生長(zhǎng)方式 | |
| 規(guī)格 | CZ | |
| 檢測(cè)方法 | / | |
| 項(xiàng)目 | 晶體晶向 | |
| 規(guī)格 | ＜100＞±3° | |
| 檢測(cè)方法 | X射線衍射定向法 | |
| 項(xiàng)目 | 導(dǎo)電類型 | |
| 規(guī)格 | P型 | |
| 檢測(cè)方法 | P/N型測(cè)試儀 | |
| 項(xiàng)目 | 位錯(cuò)密度/cm2 | |
| 規(guī)格 | ≤500 | |
| 檢測(cè)方法 | X射線衍射儀（ASTM F26-1987） |
電性能
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 | 檢測(cè)方法 |
|---|---|---|
| 氧含量 | ≤7.5×1017atoms/cm3 | 傅里葉變換紅外光譜儀 |
| 碳含量 | ≤0.5×1017atoms/cm3 | 傅里葉變換紅外光譜儀 |
| 電阻率 | 0.4-1.1Ω.cm | 硅片自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備 |
| 少子壽命 | ≥100us | Sinton BCT-400 QSSPC準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)衰減法 Transient瞬態(tài)光電導(dǎo)衰減法 (with injection level: 1E15 cm-3) |
| 項(xiàng)目 | 氧含量 | |
| 規(guī)格 | ≤7.5×1017atoms/cm3 | |
| 檢測(cè)方法 | 傅里葉變換紅外光譜儀 | |
| 項(xiàng)目 | 碳含量 | |
| 規(guī)格 | ≤0.5×1017atoms/cm3 | |
| 檢測(cè)方法 | 傅里葉變換紅外光譜儀 | |
| 項(xiàng)目 | 電阻率 | |
| 規(guī)格 | 0.4-1.1Ω.cm | |
| 檢測(cè)方法 | 硅片自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備 | |
| 項(xiàng)目 | 少子壽命 | |
| 規(guī)格 | ≥100us | |
| 檢測(cè)方法 | Sinton BCT-400 QSSPC準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)衰減法 Transient瞬態(tài)光電導(dǎo)衰減法 (with injection level: 1E15 cm-3) |
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